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Thermally driven multi-layer actuator for 2D cantilever arrays

悬臂梁 压阻效应 执行机构 材料科学 偏转（物理） 光电子学 微电子机械系统 硅 图层（电子） 纳米技术 复合材料 电气工程 光学 工程类 物理
作者
Y. Sarov,Tzvetan Ivanov,Andreas Frank,Ivo W. Rangelow
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Nature]
日期：2010-10-19 卷期号：102 (1): 61-68 被引量：9
标识
DOI：10.1007/s00339-010-6078-1
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