Thermally driven multi-layer actuator for 2D cantilever arrays

悬臂梁 压阻效应 执行机构 材料科学 偏转(物理) 光电子学 微电子机械系统 图层(电子) 纳米技术 复合材料 电气工程 光学 工程类 物理
作者
Y. Sarov,Tzvetan Ivanov,Andreas Frank,Ivo W. Rangelow
出处
期刊:Applied Physics A [Springer Nature]
卷期号:102 (1): 61-68 被引量:9
标识
DOI:10.1007/s00339-010-6078-1

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
好好好完成签到 ,获得积分10
2秒前
3秒前
3秒前
包惜筠完成签到 ,获得积分10
4秒前
4秒前
Jasper应助文艺大炮采纳,获得10
5秒前
5秒前
自觉问儿完成签到,获得积分20
5秒前
5秒前
5秒前
小徐发布了新的文献求助10
5秒前
思源应助cj采纳,获得10
5秒前
8秒前
fang完成签到,获得积分10
9秒前
姚芭蕉完成签到 ,获得积分0
9秒前
小一完成签到 ,获得积分10
10秒前
10秒前
英俊的铭应助伟少采纳,获得10
11秒前
11秒前
风再起时发布了新的文献求助10
11秒前
昔昔完成签到 ,获得积分10
11秒前
小蘑菇应助hhxy采纳,获得10
12秒前
13秒前
JamesPei应助科研通管家采纳,获得10
13秒前
lql完成签到 ,获得积分10
13秒前
烤冷面应助踏实的代曼采纳,获得10
13秒前
13秒前
farmeryxt应助科研通管家采纳,获得10
13秒前
13秒前
完美世界应助科研通管家采纳,获得10
13秒前
科研通AI6应助科研通管家采纳,获得10
13秒前
13秒前
ding应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
科研通AI6应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
浮游应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
浮游应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
14秒前
乐乐应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
烟花应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Petrucci's General Chemistry: Principles and Modern Applications, 12th edition 600
FUNDAMENTAL STUDY OF ADAPTIVE CONTROL SYSTEMS 500
微纳米加工技术及其应用 500
Nanoelectronics and Information Technology: Advanced Electronic Materials and Novel Devices 500
Performance optimization of advanced vapor compression systems working with low-GWP refrigerants using numerical and experimental methods 500
Constitutional and Administrative Law 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5299382
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4447543
关于积分的说明 13843076
捐赠科研通 4333171
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2378566
邀请新用户注册赠送积分活动 1373887
关于科研通互助平台的介绍 1339425