Hierarchical optical proximity correction on contact hole layers

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标题	Hierarchical optical proximity correction on contact hole layers 接触孔层上的分级光学邻近校正相关领域计算等级制度光学接近校正匹配（统计）计算机科学算法光学平版印刷术物理数学市场经济统计经济
网址	https://doi.org/10.1109/imnc.2000.872612
DOI	10.1109/imnc.2000.872612 doi
其它	期刊：作者：Kazuko Yamamoto; Sachiko Kobayashi; Taiga Uno; Takayuki Kotani; S. Tanaka; et al 出版日期：2002-11-07
求助人	啤酒人在 2025-06-03 15:25:47 发布自安徽，悬赏 10 积分
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