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 An Efficient Surface Smoothing Method for Microstructures Based on Vibration-assisted Digital Grayscale Lithography 基于振动辅助数字灰度光刻的微结构高效表面光顺方法
相关领域
平滑的
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期刊：Journal of Laser Micro/Nanoengineering 作者： 出版日期：2004-09-01 |
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