Discharge mode and particle transport in radio frequency capacitively coupled Ar/O2 plasma discharges

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标题	Discharge mode and particle transport in radio frequency capacitively coupled Ar/O2 plasma discharges 射频电容耦合Ar/O2等离子体放电的放电模式和粒子输运相关领域等离子体容性耦合等离子体原子物理学材料科学无线电频率模式（计算机接口）物理感应耦合等离子体核物理学电信计算机科学操作系统
网址	https://doi.org/10.1088/1674-1056/ad5d65
DOI	10.1088/1674-1056/ad5d65 doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Zhuo-Yao 卓瑶 Gao 高; Wan Dong; Chong-Biao Tian; Xing-Zhao 星照 Jiang 蒋; Zhong-Ling 忠玲 Dai 戴; et al 出版日期：2024-07-01
求助人	含糊的雨安在 2025-04-21 12:53:43 发布自上海，悬赏 10 积分
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