Scaling the contacted poly pitch of 2D transistors

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标题	Scaling the contacted poly pitch of 2D transistors 缩放2D晶体管的接触多晶硅间距
网址	https://doi.org/10.1038/s41928-025-01383-5
DOI	10.1038/s41928-025-01383-5 doi
其它	期刊：Nature Electronics 作者：Xue Chen; Su-Ting Han; Ye Zhou 出版日期：2025
求助人	Ilyas0525 在 2025-05-13 16:49:44 发布自日本，悬赏 10 积分
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