发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Dependences of bottom and sidewall etch rates on bias voltage and source power during the etching of poly-Si and fluorocarbon polymer using SF6, C4F8, and O2 plasmas
使用SF6、C4F8和O2等离子体蚀刻多晶硅和氟碳聚合物期间底壁和侧壁蚀刻速率对偏压和源功率的依赖性
相关领域
氟碳化合物 材料科学 偏压 蚀刻（微加工） 聚合物 基质（水族馆） 反应离子刻蚀 各向异性 等离子体刻蚀 等离子体 分析化学（期刊） 电压 复合材料 化学 电气工程 光学 海洋学 物理 图层（电子） 地质学 工程类 量子力学 色谱法
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/22/3/893/12226224/8...
DOI
10.1116/1.1695338 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：Jae-Ho Min; Gyeo-Re Lee; Jin-kwan Lee; Sang Heup Moon; Chang-Koo Kim
出版日期：2004-07-09
求助人
超级傲安 在 2025-06-21 13:05:03 发布自江西，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Straight and Smooth Etching of GaN (1100) Plane by Combination of Reactive Ion Etching and KOH Wet E...
  2. Selective etching of SiO2 relative to Si by plasma reactive sputter etching
  3. Feasibility of atomic layer etching of polymer material based on sequential O2 exposure and Ar low-p...
  4. Chromium oxide as a hard mask material better than metallic chromium
  5. Mechanism of Plasma-Less Gaseous Etching Process for Damaged Oxides from the Ion Implantation Proces...
  6. Angular Dependence of Si3 N4 Etching in C4 F6 /CH2 F2 /O2 /Ar Plasmas
  7. Measurement of Plasma Density for Control of Etching Profile in Inductively Coupled Plasma Etching o...
  8. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  9. Superfine IC geometries: Gas-plasma etching may supplant chemical etching in manufacturing high-perf...
  10. Gaseous Media for Plasma Chemistry and Etching
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 9小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    13:05:07 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    13:05:04 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    13:05:03 已向机器人发送请求

  • 9小时前

    超级傲安 超级傲安 Lv01 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
LAIJINSHENG发布了新的文献求助20
1秒前
pcr163的应助被陈三亮采纳，获得50
1秒前
平常无颜发布了新的文献求助10
2秒前
小马甲的应助被淅淅沥沥采纳，获得10
2秒前
2秒前
Atlantis完成签到，获得积分10
3秒前
乐乐的应助被璐璐侠采纳，获得10
5秒前
49天已过完成签到，获得积分10
5秒前
走四方发布了新的文献求助10
6秒前
啊唔发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
qweqwe完成签到，获得积分10
8秒前
10秒前
mmyhn发布了新的文献求助50
11秒前
搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得30
13秒前
司空豁的应助被科研通管家采纳，获得10
13秒前
司空豁的应助被科研通管家采纳，获得10
13秒前
FashionBoy的应助被科研通管家采纳，获得10
14秒前
司空豁的应助被科研通管家采纳，获得20
14秒前
14秒前
14秒前
小月小月发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
临界发布了新的文献求助10
14秒前
哈哈发布了新的文献求助20
15秒前
淅淅沥沥发布了新的文献求助10
15秒前
15秒前
16秒前
8R60d8的应助被小小兔采纳，获得10
17秒前
SciGPT的应助被平常无颜采纳，获得10
18秒前
baling发布了新的文献求助10
20秒前
spideringx发布了新的文献求助20
20秒前
ED的应助被小木君君采纳，获得10
21秒前
WHaha发布了新的文献求助10
22秒前
孙士雯完成签到，获得积分10
22秒前
半瓶子不满完成签到，获得积分10
22秒前
22秒前
璐璐侠完成签到，获得积分20
24秒前
25秒前
26秒前
高分求助中
The Mother of All Tableaux Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 1370
生物降解型栓塞微球市场（按产品类型、应用和最终用户）- 2030 年全球预测 1000
Implantable Technologies 500
Ecological and Human Health Impacts of Contaminated Food and Environments 400
Theories of Human Development 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360
International Relations at LSE: A History of 75 Years 308
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 计算机科学 内科学 纳米技术 复合材料 化学工程 遗传学 催化作用 物理化学 基因 冶金 量子力学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3921883
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3466729
关于积分的说明 10944315
捐赠科研通 3195451
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1765599
邀请新用户注册赠送积分活动 855645
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 795019
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通