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 Reactive Force Field Molecular Dynamics Studies of the Initial Growth of Boron Nitride Using BCl3 and NH3 by Atomic Layer Deposition 相关领域
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期刊：Journal of Physical Chemistry C 作者：Naoya Uene; Takuya Mabuchi; Masaru Zaitsu; Shigeo Yasuhara; Adri C. T. van Duin; et al 出版日期：2024-01-16 |
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