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 The discharge characteristics of magnetized capacitively coupled Ar/CH 4 plasma with different pressure 相关领域
等离子体
原子物理学
电子密度
温度电子
离子
不对称
电子
动能
电极
容性耦合等离子体
化学
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分布函数
气体压力
气体放电
磁场
大气压等离子体
等离子体诊断
电场
阴极射线
电流密度
功率密度
磁压力
碰撞频率
领域（数学）
氩
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期刊：Journal of Physics D 作者：Guiqin Yin; Sheng Tuo; Qianghua Yuan; Zilong Sun; Zhanhui Gao; et al 出版日期：2026-03-23 |
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