已完结
  • 文献求助详情
标题
Alternative EUV mask technology to compensate for mask 3D effects
网址
DOI
10.1117/12.2197213 doi
其它 期刊:SPIE Proceedings
作者:Lieve Van Look; Vicky Philipsen; Eric Hendrickx; Geert Vandenberghe; Natalia Davydova; et al
出版日期:2015-07-09
求助人
斯文败类虎 在 2026-06-02 14:33:51 发布自广东,悬赏 20 积分
下载 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。
该求助已完结,感谢关注
如需该文献,请重新发布求助,前往发布
不忘初心,牢记使命,为科研工作者服务
请遵守相关知识产权规定,勿将文件分享给他人,仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
畔畔发布了新的文献求助150
刚刚
山海发布了新的文献求助10
1秒前
欢喜霸完成签到 ,获得积分10
1秒前
嘟嘟嘟嘟完成签到,获得积分10
1秒前
无辜飞风完成签到,获得积分10
2秒前
猪猪hero发布了新的文献求助10
2秒前
DW的应助被简单的蚂蚁采纳,获得10
2秒前
长江八号完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
3秒前
伶俐依白发布了新的文献求助10
3秒前
十一发布了新的文献求助10
3秒前
Enigma_GEB的应助被123采纳,获得10
3秒前
4秒前
chenrui完成签到 ,获得积分10
4秒前
内向从灵完成签到 ,获得积分10
5秒前
6秒前
小泥熊完成签到,获得积分20
6秒前
6秒前
ang完成签到,获得积分10
6秒前
小潘发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
欣喜的觅夏完成签到,获得积分10
8秒前
xiaoxu小徐发布了新的文献求助10
8秒前
闭上眼睛发布了新的文献求助20
8秒前
9秒前
zhang发布了新的文献求助10
9秒前
脑洞疼的应助被长情平彤采纳,获得10
10秒前
11秒前
阔达的琦完成签到,获得积分10
11秒前
卡拉瓦乔发布了新的文献求助10
11秒前
北海未暖完成签到,获得积分10
12秒前
13秒前
罗静文完成签到 ,获得积分10
13秒前
飘逸的青旋完成签到 ,获得积分10
14秒前
14秒前
14秒前
LHT完成签到,获得积分10
15秒前
奔赴发布了新的文献求助10
15秒前
?......完成签到,获得积分10
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Rosenblum, Global Change Biology 800
自動車の空力技術 800
Biographisches Lexikon der hervorragenden Ärzte der letzten fünfzig Jahre [1880–1930]. Zugleich Fortsetzung des Biographischen Lexikons der hervorragenden Ärzte aller Zeiten und Völker 600
Organizational Behavior 510
Management and the Arts 510
Issues in Task-Based Language Teaching 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 化学工程 工程类 有机化学 物理 复合材料 生物化学 内科学 细胞生物学 基因 遗传学 免疫学 冶金 光电子学 癌症研究
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7786419
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9325307
关于积分的说明 20403705
捐赠科研通 7375366
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3321700
关于科研通互助平台的介绍 2469696
邀请新用户注册赠送积分活动 2338385