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 Self-Heating of Top-Down Manufactured ITO Sensors for Accurately Monitoring ppb-Level O 3 相关领域
制作
材料科学
氧化铟锡
光电子学
表面粗糙度
表面光洁度
干扰（通信）
氧化物
纳米技术
半导体
氧化锡
铟
半导体器件制造
电化学气体传感器
等离子体
整改
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金属
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期刊：Nano Letters 作者：Xiaohua Ji; Meng Li; Rui Zhang; Ruofan Zhang; Lunzhen Hu; et al 出版日期：2026-01-23 |
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