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标题
Development of Si-chips with anisotropic rough surface
各向异性粗糙表面硅芯片的研制
相关领域
曲面(拓扑) 材料科学 各向异性 开发(拓扑) 几何学 物理 数学 光学 数学分析
网址
DOI
10.1088/2051-672x/abb528 doi
其它 期刊:Surface Topography Metrology and Properties
作者:Joachim Frühauf; Dorothee Hüser; Eric Gärtner; André Felgner
出版日期:2020-09-03
求助人
沐雨疏桐 在 2025-12-06 16:21:27 发布自吉林,悬赏 10 积分
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