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 Development of Si-chips with anisotropic rough surface 各向异性粗糙表面硅芯片的研制
相关领域
曲面（拓扑）
材料科学
各向异性
开发（拓扑）
几何学
物理
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期刊：Surface Topography Metrology and Properties 作者：Joachim Frühauf; Dorothee Hüser; Eric Gärtner; André Felgner 出版日期：2020-09-03 |
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