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 Bipulse-HiPIMS co-sputter deposition of ITZO for improved electrical and optical properties via controlled ZnO target power 相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
溅射
光电子学
溅射沉积
沉积（地质）
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生物
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期刊：Ceramics International 作者：Wan-Yu Wu; Yi‐Cheng Lin; Teresa Wu; Ke Tang; Yi-Cheng Lin; et al 出版日期：2025-05-09 |
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