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 The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films 相关领域
材料科学
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期刊：Materials Science And Engineering: B 作者：A. Ababneh; U. Schmid; J. Hernando; J. L. Sánchez-Rojas; H. Seidel 出版日期：2010-06-17 |
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