Study of tungsten films deposited by DC sputtering dedicated to integrated heaters

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标题	Study of tungsten films deposited by DC sputtering dedicated to integrated heaters
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/doi/10.1116/1.49817...
DOI	10.1116/1.4981786 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 作者：N. Verbrugghe; D. Fasquelle; B. Duponchel; S. Députier 出版日期：2017-04-19
求助人	优美谷雪在 2026-08-14 16:32:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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