Pinhole density and contact resistivity of carrier selective junctions with polycrystalline silicon on oxide

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标题	Pinhole density and contact resistivity of carrier selective junctions with polycrystalline silicon on oxide 氧化物上多晶硅载流子选择结的针孔密度和接触电阻率相关领域硅材料科学多晶硅针孔（光学）氧化物光电子学氧化硅蚀刻（微加工）电流密度晶体硅微晶饱和电流图层（电子）基质（水族馆）纳米技术光学薄膜晶体管电气工程冶金电压工程类地质学物理氮化硅海洋学量子力学
网址	https://doi.org/10.1063/1.4986924
DOI	10.1063/1.4986924 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Tobias Wietler; Dominic Tetzlaff; Jan Krügener; Michael Rienäcker; Felix Haase; et al 出版日期：2017-06-19
求助人	1111 在 2025-08-18 15:14:47 发布自河北，悬赏 10 积分
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