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A Weakly Coupled Tuning Fork MEMS Electric Field Sensor With High Resolution and Wide Measurement Range 一种高分辨率宽测量范围的弱耦合音叉MEMS电场传感器
相关领域
音叉
微电子机械系统
电场
航程(航空)
材料科学
领域(数学)
光电子学
物理
声学
数学
量子力学
复合材料
振动
纯数学
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| 其它 |
期刊:Journal of microelectromechanical systems 作者:Guijie Wang; S.S. Hou; Lixin Ran; Jianhua Li; Bo Zhang; et al 出版日期:2024-01-01 |
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