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 Review on Ferroelectricity and Atomic Characterization of Hf0.5Zr0.5O2 in FeRAM 相关领域
铁电RAM
铁电性
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材料科学
工程物理
光电子学
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铁电电容器
非易失性存储器
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金属有机气相外延
随机存取存储器
半导体材料
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制作
电气工程
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蚀刻（微加工）
晶体管
硅
磁滞
化学气相沉积
领域（数学）
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过程（计算）
氢
故障排除
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工作（物理）
冶金
结晶学
凝聚态物理
脉冲激光沉积
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X射线晶体学
金属
微电子
工程类
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期刊：ACS applied electronic materials 作者：Bowen Shen; Benjamin Yang; Mingcheng Shi; Wen Sun; Huanan Liu; et al 出版日期：2025-05-21 |
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