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 Field-emission scanning probe lithography with self-actuating and self-sensing cantilevers for devices with single digit nanometer dimensions 用于个位数纳米尺寸器件的具有自致动和自传感悬臂的场发射扫描探针光刻
相关领域
悬臂梁
场电子发射
材料科学
平版印刷术
纳米
抵抗
光电子学
扫描探针显微镜
纳米技术
物理
图层（电子）
量子力学
电子
复合材料
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期刊： 作者：Jens-Peter Zoellner; Mathias Holz; Alexander Reum; Z. A. K. Durrani; Mervyn Jones; et al 出版日期：2018-03-19 |
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