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 Electrical characterization of thin silicon-on-insulator films doped by means of phosphorus end-terminated polymers 磷端基聚合物掺杂绝缘体上硅薄膜的电学表征
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Andrea Pulici; Stefano Kuschlan; Gabriele Seguini; Fabiana Taglietti; M. Fanciulli; et al 出版日期：2023-04-28 |
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