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标题
Assessment of the crystalline orientation of nanoscale semiconductor structures via atom probe tomography
通过原子探针层析成像评估纳米级半导体结构的晶体取向
相关领域
原子探针 纳米尺度 材料科学 半导体 方向(向量空间) 断层摄影术 Atom(片上系统) 结晶学 纳米技术 光电子学 光学 化学 几何学 物理 计算机科学 数学 透射电子显微镜 嵌入式系统
网址
DOI
10.1063/5.0242659 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:J. Cañas; Adeline Grenier; Jean‐Luc Rouvière; Anjali Harikumar; Samba Ndiaye; et al
出版日期:2025-03-01
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