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标题
High-κ gate dielectrics: Current status and materials properties considerations
高κ栅极电介质：现状和材料性能考虑
相关领域
相容性（地球化学） 电介质 材料科学 栅极电介质 CMOS芯片 光电子学 工程物理 介电常数 高-κ电介质 电子工程 栅氧化层 纳米技术 计算机科学 电气工程 晶体管 工程类 复合材料 电压
网址
https://doi.org/10.1063/1.1361065
DOI
10.1063/1.1361065 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：G. D. Wilk; Robert M. Wallace; J. Anthony
出版日期：2001-05-15
求助人
23 在 2025-11-15 11:14:07 发布自安徽，悬赏 10 积分
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