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标题
Modeling of a circular ring MEMS resonator with voltage excitation by means of an orthogonal polynomial method
相关领域
微电子机械系统 谐振器 戒指（化学） 激发 电压 材料科学 多项式的 声学 物理 数学 电气工程 工程类 数学分析 光学 光电子学 化学 有机化学
网址
https://ljmu.primo.exlibrisgroup.com/discovery/fulldisplay/c...
AI链接 hal.sciencedoi.org
DOI
10.3813/AAA.919196 doi
求助人
海风 在 2026-02-01 15:52:30 发布自北京，悬赏 10 积分
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