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标题
Blazed gratings with both controllable blaze angle and anti-blaze angle fabricated by using a twice oblique ion beam etching method
双斜离子束刻蚀方法制备闪耀角和反闪耀角可控的闪耀光栅
相关领域
光学 栅栏 蚀刻(微加工) 材料科学 闪耀光栅 衍射光栅 梁(结构) 光刻胶 光电子学 物理 纳米技术 图层(电子)
网址
DOI
10.1364/ao.474098 doi
其它 期刊:Applied Optics
作者:Di Zhang; Xinyu Mao; Lijiang Zeng
出版日期:2022-11-16
求助人
土土 在 2025-04-29 11:15:37 发布自河南,悬赏 10 积分
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