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标题
Parallel nanowire sensors with a high-k gate oxide for the sensitive operation in liquids
用于液体灵敏操作的具有高k栅极氧化物的平行纳米线传感器
相关领域
纳米线 材料科学 绝缘体上的硅 光电子学 蚀刻（微加工） 栅极电介质 MOSFET 电介质 电解质 氧化物 晶体管 灵敏度（控制系统） 高-κ电介质 等离子体 硅纳米线 堆栈（抽象数据类型） 栅氧化层 硅 纳米技术 电气工程 电子工程 图层（电子） 电极 化学 电压 计算机科学 工程类 冶金 物理化学 量子力学 程序设计语言 物理
网址
https://doi.org/10.1016/j.sse.2022.108326
DOI
10.1016/j.sse.2022.108326 doi
其它 期刊：Solid-State Electronics
作者：V. P. Popov; Fedor V. Tikhonenko; V. A. Antonov; Alexander Zarubanov; A.V. Gluhov; et al
出版日期：2022-04-22
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抱住仙人球 在 2025-08-04 12:25:55 发布，悬赏 10 积分
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