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标题
Influence of power ramps on the physical properties of AZO thin films deposited at room temperature by RF magnetron sputtering technique
功率斜坡对室温射频磁控溅射AZO薄膜物理性能的影响
相关领域
薄膜 溅射沉积 材料科学 腔磁控管 溅射 光电子学 高功率脉冲磁控溅射 射频功率放大器 功率（物理） 纳米技术 物理 热力学 CMOS芯片 放大器
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6641/ad6c79
DOI
10.1088/1361-6641/ad6c79 doi
其它 期刊：Semiconductor Science and Technology
作者：A Cristina Carranza; E. Rosendo; Héctor Pérez Ladrón de Guevara; Crisóforo Morales; R. Romano‐Trujillo; et al
出版日期：2024-08-14
求助人
郑多多啊 在 2025-08-26 10:49:57 发布，悬赏 10 积分
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