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Effect of sputtering power on the microstructure and properties of silver films prepared by magnetron sputtering 溅射功率对磁控溅射银薄膜组织和性能的影响
相关领域
材料科学
微观结构
溅射
溅射沉积
高功率脉冲磁控溅射
冶金
腔磁控管
复合材料
光电子学
薄膜
纳米技术
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期刊:Materials Today Communications 作者:Dashi Lu; Junzhe Yang; Xiuqi Wang; Shang Gao; Mingyu Li; Hongjun Ji 出版日期:2024-12-12 |
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