Atomic layer deposition of tin oxide films using tetrakis(dimethylamino) tin - 科研通

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标题	Atomic layer deposition of tin oxide films using tetrakis(dimethylamino) tin
网址	https://doi.org/10.1116/1.2835087
DOI	10.1116/1.2835087 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Jeffrey W. Elam; David Baker; Alexander J. Hryn; Alex B. F. Martinson; Michael J. Pellin; et al 出版日期：2008-01-29
求助人	HuiHui 在 2026-07-29 00:41:23 发布自德国，悬赏 10 积分
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