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标题
Advancing DRAM patterning: high-NA EUV lithography for 10nm and beyond node technologies
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3090581
DOI
10.1117/12.3090581 doi
其它 期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXIX
作者：Yeeun Han; Yeongchan Cho; Kangjae Lee; Sudeok Kim; Hyungju Ryu; et al
出版日期：2026-04-10
求助人
还单身的忆南 在 2026-06-26 21:29:37 发布自广东，悬赏 20 积分
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  • 1天前

    炙热一凤 炙热一凤 Lv7 上传了文件

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  • 6天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    21:29:43 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    21:29:39 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
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  • 6天前

    还单身的忆南 还单身的忆南 Lv1 求助人 发起了本次求助

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