Low Dielectric Constant Materials for ULSI Interconnects

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标题	Low Dielectric Constant Materials for ULSI Interconnects
网址	https://doi.org/10.1146/annurev.matsci.30.1.645
DOI	10.1146/annurev.matsci.30.1.645 doi
其它	期刊：Annual Review of Materials Science 作者：Michael Morgen; E. Todd Ryan; Jie-Hua Zhao; Chuan Hu; Taiheui Cho; et al 出版日期：2000-08-01
求助人	cr2025 在 2026-07-03 15:45:47 发布自湖南，悬赏 10 积分
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