Quantitative Evaluation of the Batwing Effect on Depth Measurement in Coherence Scanning Interferometry for Rectangular Gratings

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标题	Quantitative Evaluation of the Batwing Effect on Depth Measurement in Coherence Scanning Interferometry for Rectangular Gratings
网址	https://www.mdpi.com/2304-6732/11/4/341/pdf
DOI	10.3390/photonics11040341 doi
其它	期刊：Photonics 作者：Jiale Zhang; Qun Yuan; Xiaoxin Fan; Lu Chen; Lihua Lei; et al 出版日期：2024-04-08
求助人	asda 在 2026-09-18 17:35:37 发布自湖北，悬赏 10 积分
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