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Plasma sheath tailoring by a magnetic field for three-dimensional plasma etching
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网址
DOI
10.1063/5.0187685 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:E. Jüngling; Sebastian Wilczek; Thomas Mussenbrock; Marc Böke; Achim von Keudell
出版日期:2024-02-12
求助人
梅子 在 2026-03-26 10:43:46 发布自陕西,悬赏 10 积分
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