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 Effect of annealing on the structural, optical and surface properties of chromium oxide (Cr2O3) thin films deposited by e-beam evaporation for plasma etching applications 退火对电子束蒸发等离子体刻蚀氧化铬(Cr2O3)薄膜结构、光学和表面性能的影响
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期刊：Journal of alloys and compounds 作者：Huseyin Ekinci; Mohammad Soltani; Navid M. S. Jahed; Xiaoli Zhu; Bo Cui; et al 出版日期：2021-09-01 |
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