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 Fraction of Interstitialcy Component of Phosphorus and Antimony Diffusion in Silicon 硅中磷和锑扩散的间隙组分分数
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Takashi Shimizu; Toshio Takagi; Satoru Matsumoto; Yoshiyuki Satō; Eisuke Arai; et al 出版日期：1998-03-01 |
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