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 A Wafer-Level Vacuum Packaged MEMS Disk Resonator Gyroscope With 0.42°/h Bias Instability Within ±300°/s Full Scale 片级真空封装MEMS圆盘谐振陀螺，满量程0.42°/h偏置不稳定性±300°/s
相关领域
陀螺仪
谐振器
足迹
微电子机械系统
电容
薄脆饼
振动结构陀螺仪
材料科学
光电子学
偏压
不稳定性
晶圆级封装
电气工程
电极
电子工程
物理
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期刊：IEEE Transactions on Industrial Electronics 作者：Hao Wang; Haiyang Quan; Jinqiu Zhou; Long Zhang; Jianbing Xie; et al 出版日期：2022-05-01 |
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