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标题
Assessment of sputtering damage in organic layer surface based on energy distribution of positively charged particles formed during facing-target sputtering of indium–tin oxide
基于面向靶溅射铟锡氧化物中正电荷粒子能量分布的有机层表面溅射损伤评估
相关领域
溅射 X射线光电子能谱 氧化铟锡 材料科学 图层（电子） 氧化物 铟 沉积（地质） 分析化学（期刊） 薄膜 化学工程 化学 光电子学 复合材料 纳米技术 冶金 有机化学 古生物学 沉积物 工程类 生物
网址
https://doi.org/10.1016/j.orgel.2023.106764
DOI
10.1016/j.orgel.2023.106764 doi
其它 期刊：Organic Electronics
作者：Kouji Suemori
出版日期：2023-05-01
求助人
AQ 在 2023-12-19 15:55:14 发布自浙江，悬赏 10 积分
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