Research on the Mass Adding and Removing Combined Mechanical Trimming Method of the Ring MEMS Gyroscope

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标题	Research on the Mass Adding and Removing Combined Mechanical Trimming Method of the Ring MEMS Gyroscope 环形MEMS陀螺加减质量组合机械修整方法的研究相关领域陀螺仪修边振动结构陀螺仪微电子机械系统验证质量速率积分陀螺仪环形激光陀螺仪材料科学电子工程声学工程类机械工程光电子学物理航空航天工程
网址	https://www.mdpi.com/2072-666X/14/10/1957/pdf?version=169779...
DOI	10.3390/mi14101957 doi
其它	期刊：Micromachines 作者：X. Wang; Kai Wu; Cheng-Xiang Wang; Qingsong Li; Zhanqiang Hou; et al 出版日期：2023-10-20
求助人	哈哈哈在 2023-12-20 09:02:38 发布自湖南，悬赏 10 积分
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