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标题
A flexible and highly sensitive capacitive pressure sensor with fast response based on a hierarchically micro-structured PDMS dielectric layer
基于分层微结构PDMS介质层的柔性高灵敏度快速响应电容式压力传感器
相关领域
压力传感器 电容感应 材料科学 灵敏度(控制系统) 光刻 棱锥(几何) 电介质 光电子学 图层(电子) 电子工程 计算机科学 电气工程 纳米技术 工程类 机械工程 光学 物理
网址
DOI
10.1088/1361-6439/ace268 doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Jiamin Li; Jie Zhang; Lei Qin; Luyu Lv; Tianxiang Liu; et al
出版日期:2023-07-07
求助人
崔万言 在 2024-03-02 16:16:31 发布自浙江,悬赏 10 积分
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