Reaction mechanisms of Sn-based polarity-change copolymer resists with different counter anions, designed for extreme ultraviolet lithography

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标题	Reaction mechanisms of Sn-based polarity-change copolymer resists with different counter anions, designed for extreme ultraviolet lithography
网址	http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/adaefd
DOI	10.35848/1347-4065/adaefd doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kohei Hashimoto; Yui Takata; Yusa Muroya; Takahiro Kozawa; Kohei Machida; et al 出版日期：2025-02-01
求助人	宇文天奇在 2026-07-09 14:50:35 发布自北京，悬赏 10 积分
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