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标题	̀Nanoscale Additive Manufacturing of Sub-24 nm Spacing Silicon Nanowire Arrays and High-Performance GAA FET Based on SiO2/SiNx Stacked Multilayers
网址	https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acs.nanolett.6c00801
DOI	10.1021/acs.nanolett.6c00801 doi
其它	期刊：Nano letters 作者：Wentao Qian; L. Weng; Wei Liao; G. Sang; Junzhuan Wang; et al 出版日期：2026-04-23
求助人	dongyang 在 2026-07-21 15:35:25 发布自江苏，悬赏 10 积分
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