Thermal Atomic Layer Deposition of Ultrathin LiPON at a 200 mm Wafer-Scale

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标题	Thermal Atomic Layer Deposition of Ultrathin LiPON at a 200 mm Wafer-Scale
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acsaelm.6c00069
DOI	10.1021/acsaelm.6c00069 doi
其它	期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Sylvain Poulet; Manon Letiche; Nicolas Gauthier; Ilyass Ghandari; Nicolas Massoni; et al 出版日期：2026-03-27
求助人	辛勤世倌在 2026-09-14 19:13:50 发布自福建，悬赏 10 积分
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