Sub-5-Å La2O3 In Situ Dipole Technique for Large VFB Modulation With EOT Reduction and Improved Interface for HKMG Technology

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标题	Sub-5-Å La2O3 In Situ Dipole Technique for Large VFB Modulation With EOT Reduction and Improved Interface for HKMG Technology 相关领域符号数学算术
网址	https://ieeexplore.ieee.org/document/10330891
DOI	10.1109/TED.2023.3335900 doi
求助人	乌妮卡布兹在 2025-11-28 18:48:59 发布自安徽，悬赏 10 积分
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