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High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography
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网址
https://doi.org/10.1063/1.4774298
DOI
10.1063/1.4774298 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Н. И. Чхало; Silvio Künstner; В. Н. Полковников; Н. Н. Салащенко; F. Schäfers; et al
出版日期：2013-01-07
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水星逃逸 在 2025-11-27 16:48:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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