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 SiC nanodot formation in amorphous-Si and poly-Si substrates using a hot-C+-ion implantation technique 相关领域
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Tomohisa Mizuno; Rikito Kanazawa; Takashi Aoki; Toshiyuki Sameshima 出版日期：2019-02-18 |
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