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 Investigation on electrical characteristics of TFTs fabricated with germanium films crystallized by atmospheric-pressure micro thermal plasma jet irradiation 常压微热等离子体射流辐照锗薄膜制备薄膜晶体管的电学特性研究
相关领域
薄膜晶体管
材料科学
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Takuma Sato; Hiroaki Hanafusa; Seiichiro Higashi 出版日期：2021-11-24 |
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