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![]() 电感耦合C4F8/Ar等离子体中等离子体-室壁相互作用及其对聚合物沉积的影响
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期刊:Surfaces and Interfaces 作者:Woojin Park; Jonggu Han; Sang-Jun Park; Solee Park; Jongsik Kim; et al 出版日期:2024-10-01 |
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