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  Role of Nitrogen and Yttrium Contents in Manufacturing (Cr, Y)Nx Film Nanostructures 氮和钇含量在制备（Cr，Y）Nx薄膜纳米结构中的作用
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材料科学
高功率脉冲磁控溅射
钇
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期刊：Nanomaterials 作者：Raíra Chefer Apolinário; Alisson Mendes Rodrigues; Pedro Renato Tavares Ávila; Júlia Nascimento Pereira; Carlos Ospina; et al 出版日期：2022-07-14 |
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凡90星
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