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标题
Influence of HPPMS pulse length and inert gas mixture on the properties of (Cr,Al)N coatings
HPPMS脉冲长度和惰性气体混合物对(Cr,Al)N涂层性能的影响
相关领域
材料科学 X射线光电子能谱 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 扫描电子显微镜 涂层 溅射 分析化学(期刊) 物理气相沉积 复合材料 纳米压痕 化学工程 薄膜 纳米技术 化学 工程类 色谱法 有机化学
网址
DOI
10.1016/j.tsf.2013.06.036 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:Nazlim Bagcivan; Kirsten Bobzin; Guido Grundmeier; M. Wiesing; Özlem Özcan; et al
出版日期:2013-07-04
求助人
nini 在 2025-06-13 09:42:05 发布自上海,悬赏 10 积分
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