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王建华 上海理工大学上海机械学院 引用 收藏 摘要:该文所指超净介质包括超净气体和超净液体.因为在中国,超净液体中颗粒检测的研究和生产基础较差、技术难度较高,所以该文将其作为重点讨论对象.超净介质中颗粒污染物的检测方法中,常见的有光学颗粒计数仪、库尔特计数仪和凝结核计数仪.光学颗粒计数仪是一种集激光、微电子、精密机械和计算机软、硬件技术于一身的选进手段.它具有检测速度快、干扰小、工作可靠、自动化程度高、易于在线检测等优点,具有广泛应用前景.该文概述了它们的工作原理、性能指标、结构特点及发展动态等.该文在理论研究的基础上,设计制造了光散射法和光阻法两套实际装置.并对装置中的光学系统、试样区结构、测量... 关键词: 在线检测超净介质颗粒检测光学颗粒计数仪 授予学位: 博士 学科专业: 热能工程 导师姓名: 王乃宁 学位年度: 1996 语种: 中文 分类号: TK5(特殊热能及其机械) |
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