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Optimization of the SiC Powder Source Material for Improved Process Conditions During PVT Growth of SiC Boules 优化SiC粉末源材料以改善SiC球体PVT生长过程中的工艺条件
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期刊:Materials 作者:Ø. Ellefsen; Matthias Arzig; Johannes Steiner; Peter J. Wellmann; P. Runde 出版日期:2019-10-08 |
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