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Design of Fly-Eye Lens with Free-Form Surface Used in Parallel Light Exposure Machine with Large Area and High Uniformity 大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面蝇眼透镜的设计
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期刊:Laser & Optoelectronics Progress 作者:陈忠雨 Chen Zhongyu; 尹韶云 Yin Shaoyun; 孙秀辉 Sun Xiuhui; 江海波 Jiang Haibo; 杜春雷 Du Chunlei 出版日期:2018-01-01 |
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